無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平，然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。廣州市佰倫凈化的小蘇（微信號13570963006）整理了這幾年來關于無塵室相關的管理經(jīng)驗給大家整理了這篇文章參考：

無塵室內如何控制微粒子濃度呢?

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子

(1)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵室。

(2)機器、材料進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。

(3)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過濾器的排氣用小型過濾單元于腰間。

2、不發(fā)生 :無塵室內動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制;

在控制最大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：

(1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);

(2)采用磨耗發(fā)塵小的材質;

(3)采用發(fā)塵小的潤滑油;

3、不儲備：

現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動(動態(tài))，無塵室要想達到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進 行除電。

4、排除/除去

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：

由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

原文來源：廣州佰倫凈化 http://www.bacclean.com/